微技術/附加方法
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除了新增劑和蝕刻工藝外，還有一些工藝可以改變材料的性質並對其進行表徵。
- 矽油
- 噴塗聚合物
- Epo-tek H77 是一種常見的用於封裝的雙組分 UHV 相容環氧樹脂膠。
- Fortafix 生產一種耐高溫膠水，稱為 Rocksett，工作溫度可達 1000 攝氏度左右。
- Vitcas 耐火材料 生產用於工業和家庭用途的高溫膠水/粘合劑，最高溫度可達 1700 攝氏度
橢圓偏光儀 用於透過其光學特性（折射率和反射率/吸收率）測量薄膜厚度。
四點探針技術可用於測量薄膜的電導率。為了提高測量精度，可以使用微四點探針。Capres 有一篇關於微四點探針的應用說明。
原子力顯微鏡 (AFM) 主要用於測量表面的形貌，例如粗糙度。
JEOL 提供了一份關於SEM 影像解釋的良好指南
蔡司 提供了一份關於光學顯微鏡的良好介紹。
另請參見有關編輯此書籍的說明，瞭解如何新增參考文獻 Microtechnology/About#如何貢獻。