微米技術/導體

貴金屬

• Au
• Pt
• Ag
• Cu
• Ni

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相當貴金屬材料特性

		機械				熱力學			電氣
		屈服強度	楊氏模量	泊松比	密度	熱導率	熱膨脹	熔點	電導率	α
Z	材料	GPa	GPa	?	kg/m³	(W/cmK)	(ppm/K)	K	Ωm	promille/K
金屬
55	Au	?	78-80	0.44-0.25	19281	3.12	14	1064	23-22.1*10??	3.7
66	Cr	?	?	?	7194	?	?	1860	?
80	Pt	0.12	168	0.38	21450	0.73	8.9	1772	0.0981?	3.9
78	W	0.12	411	0.28	19254	1.8	4.5	3387	0.0489?	4.8
65	Ag	?	?	?	?	?	?	960	15.9*10??

合金

• TiW

矽化物

• AuSi
• TiSi

參考文獻

另請參閱有關編輯此書籍以瞭解如何新增參考文獻的說明 Microtechnology/About#如何貢獻。