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微技術/微機電系統 (MEMS)

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應用

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諧振器

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應變計

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壓力感測器

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AFM 懸臂樑

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加速度檢測器

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光束控制

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射頻 MEMS

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可靠性設計規則

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桑迪亞釋出了一套用於 MEMS 器件的“可靠性設計規則”，旨在避免早期 MEMS 器件測試中遇到的失效模式。最常見的失效機制是摩擦表面的磨損。 [1]


參考文獻

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另請參見有關編輯此書籍的說明，瞭解如何新增參考文獻 微技術/關於#如何貢獻。

  1. ↑ Danelle M. Tanner 等人。 "MEMS Reliability: Infrastructure, Test Structures, Experiments, and Failure Modes". Sandia. 2000.
檢索自 "https://wikibook.tw/wiki/Microtechnology/Microelectromechanical_Systems_(MEMS)"
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