微技術/概述
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另請參見
關於微製造的書籍
- "微製造基礎" (第二版，2002) 作者：M. Madou - 強烈推薦！
- "微製造導論" (2004) 作者：S. Franssila
微技術相關期刊及其影響因子概述（2006 年 8 月值）
| 期刊 | 連結 | 影響因子 | 評論 |
|---|---|---|---|
| 美國物理學雜誌 (AJP) | [1] | 0.82 | ? |
| IEEE 電子器件學報 | [2] | ? | IEEE |
| 電子快報 | [3] | 1.0 | ? |
| 應用物理學雜誌 | [4] | 2.5 | ? |
| 材料加工技術雜誌 | [5] | 0.6 | ? |
| 微機電系統雜誌 (J.MEMS) | [6] | 3 | ? |
| 微光刻微製造和微系統雜誌 | [7] | 1.4 | ? |
| 微機械與微工程雜誌 | [8] | 2.5 | ? |
| 微系統技術雜誌 | [9] | 0.72 | 微系統技術 - 微納系統 - 資訊儲存和處理系統 |
| 固體電子學雜誌 | [10] | 1.2 | ? |
| 真空科學與技術 A 雜誌 (JVSTA) | [11] | 1.4 | 真空、表面、薄膜 |
| 真空科學與技術 B 雜誌 (JVSTB) | [12] | 1.6 | 微電子學和奈米結構：加工、測量和現象 |
| 晶片實驗室 | [13] | 5.3 | ? |
| 微電子工程 | [14] | 1.4 | ? |
| 微電子學雜誌 | [15] | 0.35 | ? |
| 感測器快報 | [16] | 1.1 | ? |
| 感測器與執行器 A：物理 | [17] | 1.4 | ? |
| 感測器與執行器 B：化學 | [18] | 2.6 | ? |
| 表面與塗層技術 | [19] | 1.6 | ? |
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- Icemostech [20]；英國；[sales@Icemostech.com]；器件層 +/- 0.5 µm
- 大學晶圓 [21]；美國；克里斯·貝克 [@universitywafer.com]；各種晶圓，可提供少量
- Soitec [22]；法國；薩布麗娜·格羅迪迪耶 [sabrina.grosdidier@soitec.fr]；高質量 SOI，器件層 +/- 5 nm
- MEMC 美國 馬可·馬費 [mmaffe@memc.it]；器件層 +/- 0.5 µm
- Ultrasil [23]；美國；托馬斯·J·根特曼 [ultrasiltg@aol.com]；器件層 +/- 0,5 µm，線上庫存晶圓次日發貨
- Okmetic Oyj [24]；芬蘭；韋利-佩卡·維爾塔寧 [veli-pekka.virtanen@okmetic.com]；器件層 +/- 0.5 µm
- IBIS [25]；美國；高質量 SOI；器件層 +/- 5 nm
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另請參見關於編輯此書的說明，瞭解如何新增參考文獻 Microtechnology/About#How to Contribute。