奈米技術/光刻
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掃描電鏡中高度聚焦的電子束用於對奈米結構成像，但它也可以用於製造奈米級沉積物。在掃描電鏡腔室中存在含碳或有機金屬氣體的情況下，電子束誘導沉積 (EBID 或電子束沉積 (EBD)) 可用於構建三維奈米結構或焊接/粘合奈米結構。
另請參閱有關編輯此書籍的說明，瞭解如何新增參考文獻 奈米技術/關於#如何貢獻。
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